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 プラズマ用高周波電源 NR03N-01 / NR05N-01 |
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- ＮＲ０３Ｎ－０１は空冷式の電源でありながら軽量コンパクトな設計（ハーフラックサイズ）を実現。
ハーフラックサイズで500W。
| NR03N-01 | NR05N-01 | |
| 定格出力 | 300W | 500W |
| 周波数 | 13.56MHz | |
| 出力インピーダンス | 50～52Ω | |
| 電源電圧 | 200V 3相 50/60Hz | |
| スプリアス | -40dB 以下 | |
| 冷却方式 | 強制空冷 | |
| 外形寸法 | W215×D396×H99 | W215×D498×H99 |
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プラズマ用高周波電源 NR03N-01 / NR05N-01 |
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| NR03N-01 | NR05N-01 | |
| 定格出力 | 300W | 500W |
| 周波数 | 13.56MHz | |
| 出力インピーダンス | 50～52Ω | |
| 電源電圧 | 200V 3相 50/60Hz | |
| スプリアス | -40dB 以下 | |
| 冷却方式 | 強制空冷 | |
| 外形寸法 | W215×D396×H99 | W215×D498×H99 |
