| |||
 |
 | ||
|---|---|---|---|
 NR1N-01 / NR2N-01 / NR3N-01 |
 |
||
- コンパクト設計
JISラックの半分のサイズで設計されています。（480W幅に2台収納）
マッチングコントローラやパルスジェネレーターと合体させると JISラックサイズとなります。
- 安定性・高信頼性
ＲＦ専業メーカーの強みを生かしプラズマ負荷に対し安定した電力を供給します。
- カスタム対応
パルス出力、デジタル対応、位相制御、等豊富なオプションを用意しております。
負荷にマッチしたカスタム仕様への対応が可能です。
| NR1N-01 | NR2N-01 | NR3N-01 | |
| 定格出力 | 1KW | 2KW | 3KW |
| 周波数 | 13.56MHz | ||
| 出力インピーダンス | 50～52Ω | ||
| 電源電圧 | 200V 3相 50/60Hz | ||
| スプリアス | -40dB 以下 | ||
| 冷却方式 | 強制空冷 | 水 冷 | |
| 外形寸法 | W215×D480×H199 | W215×D498×H199 | W215×D539×H199 |
