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 NR5N-01 / NR5N27M-01 / NR5N40M-01 / NR5N60M-01 |
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- コンパクト設計
200H（JISラック）のコンパクト設計。13.56MHz～60MHzまで同一寸法です。
- 安定性・高信頼性
ＲＦ専業メーカーの強みを生かしプラズマ負荷に対し安定した電力を供給します。
- カスタム対応
パルス出力、デジタル対応、位相制御、等豊富なオプションを用意しております。
負荷にマッチしたカスタム仕様への対応が可能です。
| NR5N-01 | NR5N27M-01 | NR5N40M-01 | NR5N60M-01 | |
| 定格出力 | 5KW | |||
| 周波数 | 13.56MHz | 27.12MHz | 40.68MHz | 60MHz |
| 出力インピーダンス | 50～52Ω | |||
| 電源電圧 | 200V 3相 50/60Hz | |||
| スプリアス | -40dB 以下 | |||
| 冷却方式 | 水 冷 | |||
| 外形寸法 | W480×D600×H199 | |||
