当社の技術とサービス

高周波電源は、高周波技術の塊で構成させており、そこには多くのノウハウが投入されています。
その為、高周波電源を使用し始めると様々な問題が発生し、お客様では対応出来なくなるケースが多々あります。 製品を買うだけでしたらどこの会社でも出来ますが、安定性・信頼性まで求めるのなら高周波技術に精通した会社で なければお客様のご要望には答えられません。
我々は、メーカーと一体となってお客様のご要望にお答え致します。

• 独自仕様の高周波電源、及び付属製品の開発
• 既存設備の置き換え、及び拡張
• 設備の能力アップ、及び最適化

例）

• プラズマ放電が安定しない、均一な放電をたてたい
• ノイズをカットしたい（ESC、ヒーター、熱電対等）
• 立ち上がりのスピードを一定にしたい、機差を無くしたい、精度を上げたい
• マッチングが取れない・マッチング範囲を広げたい・Pr=0Wとしたい・高速で負荷に追従させたい
• 高周波におけるアースとは？
• ケーブル関連（ケーブルが加熱する、ケーブル数を減らしたい）
• 様々な周波数で実験したい
• 異なる周波数を同時に印加したい。2周波・３周波を重畳したい。
• 装置にあわせた特別仕様の高周波電源を製作したい。