高周波電源レンタル製品

プラズマ高周波電源 - NR1N

製品の特長

600W~3kWの出力をカバーしながらほぼ同じサイズを実現。限られた設置場所でも同じサイズを採用することにより、必要電力に応じた製品を選ぶことが可能です。出力1kWまでは空冷で運用出来ます。

定格出力:1kW
周波数:13.56MHz,400KHz,2MHz,40.68MHz

基本仕様

型式 NR1N NR1N400K NR1NP2M NR1N40M
定格出力 1kW
出力周波数 13.56MHz
±0.05%
400KHz
±0.05%
2MHz
±0.05%
40MHz
±0.05%
出力インピーダンス 50~52Ω
電源 3φ 200V±10%
スプリアス -40dB 以下
冷却方式 強制空冷 水冷
外形寸法 W215
D440
H133
W215(予定)
D440(予定)
H133(予定)
W480
D460
H199
W460
D500
H149

製品資料