プラズマ高周波電源 - NR1N
製品の特長
600W～3kWの出力をカバーしながらほぼ同じサイズを実現。限られた設置場所でも同じサイズを採用することにより、必要電力に応じた製品を選ぶことが可能です。出力1kWまでは空冷で運用出来ます。
定格出力：1kW
周波数：13.56MHz,400KHz,2MHz,40.68MHz
基本仕様
| 型式 | NR1N | NR1N400K | NR1NP2M | NR1N40M |
|---|---|---|---|---|
| 定格出力 | 1kW | |||
| 出力周波数 | 13.56MHz ±0.05% |
400KHz ±0.05% |
2MHz ±0.05% |
40MHz ±0.05% |
| 出力インピーダンス | 50～52Ω | |||
| 電源 | 3φ 200V±10% | |||
| スプリアス | -40dB 以下 | |||
| 冷却方式 | 強制空冷 | 水冷 | ||
| 外形寸法 | W215 D440 H133 |
W215（予定） D440（予定） H133（予定） |
W480 D460 H199 |
W460 D500 H149 |
