プラズマ高周波電源 - NR2N
製品の特長
600W～3kWの出力をカバーしながらほぼ同じサイズを実現。限られた設置場所でも同じサイズを採用することにより、必要電力に応じた製品を選ぶことが可能です。出力1kWまでは空冷で運用出来ます。
定格出力：2kW
周波数：13.56MHz,27.12MHz,60MHz
基本仕様
| 型式 | NR2N | NR2N27M | NR2N60M |
|---|---|---|---|
| 定格出力 | 2kW | ||
| 出力周波数 | 13.56MHz±0.05% | 27MHz±0.05% | 60MHz±0.05% |
| 出力インピーダンス | 50～52Ω | ||
| 電源 | 3φ 200V±10% | ||
| スプリアス | -40dB 以下 | ||
| 冷却方式 | 水冷 | ||
| 外形寸法 | W215×D480×H146 | W215×D541×H199 | W467×D501×H130 |
