高周波電源レンタル製品

プラズマ高周波電源 - NR3N

製品の特長

600W~3kWの出力をカバーしながらほぼ同じサイズを実現。限られた設置場所でも同じサイズを採用することにより、必要電力に応じた製品を選ぶことが可能です。出力1kWまでは空冷で運用出来ます。

定格出力:3kW
周波数:13.56MHz

基本仕様

型式 NR3N NR3NP
定格出力 3kW
出力周波数 13.56MHz±0.05%
出力インピーダンス 50~52Ω
電源 3φ 200V±10%
スプリアス -40dB 以下
冷却方式 水冷
外形寸法 W215×D480×H146

製品資料