プラズマ高周波電源 - NR5N4M
製品の特長
長年培った高周波技術に基づいて設計されているので、プラズマ負荷に対しても安定して電力を供給することが可能。
定格出力：5kW
周波数：4MHz
基本仕様
| 型式 | NR5N4M |
|---|---|
| 定格出力 | 5kW |
| 出力周波数 | 4MHz |
| 出力インピーダンス | 50～52Ω |
| 電源 | 3φ 200V±10% |
| スプリアス | -40dB 以下 |
| 冷却方式 | 水冷 |
| 外形寸法 | W460×D601×H199 |
高周波電源装置のレンタルは当社にお任せ下さい。
長年培った高周波技術に基づいて設計されているので、プラズマ負荷に対しても安定して電力を供給することが可能。
定格出力：5kW
周波数：4MHz
| 型式 | NR5N4M |
|---|---|
| 定格出力 | 5kW |
| 出力周波数 | 4MHz |
| 出力インピーダンス | 50～52Ω |
| 電源 | 3φ 200V±10% |
| スプリアス | -40dB 以下 |
| 冷却方式 | 水冷 |
| 外形寸法 | W460×D601×H199 |
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